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• 200 1_ |a 真空镀膜技术与应用 |A zhen kong du mo ji shu yu ying yong |d = Technology and application of vacuum coating |f 陆峰编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2022

• 215 __ |a 335页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共9章, 主要阐述了真空镀膜技术应用, 具体介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜, 真空溅射镀膜, 真空离子镀膜, 离子束 (辅助) 沉积, 化学气相沉积的原理、特点、装置及应用; 本书还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细的介绍。

• 333 __ |a 本书适合从事真空镀膜技术、薄膜与表面工程、材料工程等领域的研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员阅读参考, 也可作为真空相关专业的本科生及研究生教材

• 510 1_ |a Technology and application of vacuum coating |z eng

• 606 0_ |a 真空技术 |A zhen kong ji shu |x 镀膜

• 690 __ |a TN305.8 |v 5

• 701 _0 |a 陆峰 |A lu feng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 北京京城新安 |c 20220829

• 905 __ |a WFKJXY |d TN305.8/1

• 920 __ |a 4370400 |z 1