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• 010 __ |a 978-7-122-45614-4 |d CNY69.00

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• 200 1_ |a 薄膜材料科学与技术 |A bao mo cai liao ke xue yu ji shu |d = Thin film materials science and technology |f 刘仲武主编 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2024

• 215 __ |a 350页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 教育部高等学校材料类专业教学指导委员会规划 国家级一流本科专业建设成果

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面地介绍了薄膜材料的基本概念、薄膜制备技术、薄膜生长机理、薄膜加工技术以及薄膜分析技术。在简要地阐述薄膜材料基本特点的基础上，首先介绍了与薄膜表征和分析密切相关的真空技术和等离子体技术；详细阐述了薄膜材料的制备方法，包括薄膜制备的液相方法、薄膜物理气相沉积技术、薄膜的热氧化与化学气相沉积技术、薄膜旋涂和喷涂技术，涉及各种制备方法的基本原理、制备设备和制备工艺；分析了气相沉积薄膜材料的生长机制、薄膜的生长过程及其影响因素，介绍了薄膜的外延生长技术；随后进一步介绍了薄膜的微细加工技术，特别是薄膜刻蚀技术；最后，系统阐述了薄膜的表征和分析方法，包括薄膜的厚度控制与测量、成分表征、结构表征、原子化学键表征、表面形貌与微观组织分析以及薄膜材料性能分析。

• 510 1_ |a Thin film materials science and technology |z eng

• 606 0_ |a 薄膜 |A bao mo |x 工程材料 |x 高等学校

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _0 |a 刘仲武 |A liu zhong wu |4 主编

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20250905

• 905 __ |a WFKJXY |d TB383/210