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• 010 __ |a 978-7-03-069327-3 |d CNY99.00

• 100 __ |a 20220516d2022 em y0chiy50 ea

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• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a a 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS光纤声压传感器技术 |A MEMS guang xian sheng ya chuan gan qi ji shu |f 金鹏 ... [等] 著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2022

• 215 __ |a 170页 |c 图 |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 刘彬, 钟志, 林杰, 方尔正

• 306 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版

• 312 __ |a 英文题名取自封面

• 320 __ |a 有书目 (第157-167页) 和索引

• 330 __ |a 本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景 ; 其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理, 分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析 ; 然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装 ; 最后对传感器的性能进行详细的测试。

• 510 1_ |a Fiber acoutics sensors based on MEMS |z eng

• 606 0_ |a 光纤压力传感器 |A guang xian ya li chuan gan qi

• 690 __ |a TP212.4 |v 5

• 701 _0 |a 金鹏 |A jin peng |4 著

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20230909

• 905 __ |a WFKJXY |d TP212.4/3

• 920 __ |a 4370400 |z 1