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• 000 01245nam0 2200301 450

• 001 0000772258

• 005 20250621094800.0

• 010 __ |a 978-7-5159-2449-6 |b 精装 |d CNY158.00

• 100 __ |a 20250213d2024 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 高性能MEMS惯性器件技术 |A gao xing neng MEMS guan xing qi jian ji shu |f 刘福民 ... [等] 著

• 210 __ |a 北京 |c 中国宇航出版社 |d 2024

• 215 __ |a 406页 |c 图 (部分彩图) |d 27cm

• 300 __ |a 国家出版基金项目

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 王巍, 刘国文, 徐宇新

• 320 __ |a 有书目 (第384-403)

• 330 __ |a 本书从MEMS惯性器件研究和设计的角度, 论述了高性能MEMS惯性器件的工作原理、误差机理、设计与工艺技术等方面的理论、方法和关键技术。全书共6章, 主要包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的基本原理、MEMS陀螺仪典型结构及误差机理、高性能MEMS陀螺仪关键技术、MEMS加速度计典型结构及误差机理、高性能MEMS加速度计关键技术以及高性能MEMS惯性器件工艺技术等内容。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 惯性元件

• 690 __ |a TN965 |v 5

• 701 _0 |a 刘福民 |A liu fu min |4 著

• 701 _0 |a 王巍 |A wang wei |4 著

• 701 _0 |a 刘国文 |A liu guo wen |4 著

• 701 _0 |a 徐宇新 |A xu yu xin |4 著

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20250621

• 905 __ |a WFKJXY |d TN965/8