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• 200 1_ |a 微机电系统设计及应用探究 |A wei ji dian xi tong she ji ji ying yong tan jiu |f 吴倩楠著

• 210 __ |a 长春 |c 吉林科学技术出版社 |d 2022

• 215 __ |a 177页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目 (第175-177页)

• 330 __ |a 《微机电系统设计及应用探究》一书中讲述的微机电系统涉及多学科交叉, 具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境的特点, 有着广泛的应用前景。本书结合当前微机电系统的科学研究, 对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍, 使读者对微机电系统的设计与制造有一个比较完整的了解, 为开展微机电系统的研究奠定必要的基础。

• 333 __ |a 本书可供可供从事微机电系统和微系统设计、加工制造及应用技术的科技人员参考

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 系统设计 |x 应用 |x 研究

• 690 __ |a TM380.2 |v 5

• 701 _0 |a 吴倩楠 |A wu qian nan |4 著

• 801 _0 |a CN |b 北京京城新安 |c 20220808

• 905 __ |a WFKJXY |d TM380.2/1

• 920 __ |a 4370400 |z 1