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• 000 01053nam0 2200229 450

• 001 0000514617

• 010 __ |a 978-7-111-63763-9 |d CNY119.00

• 092 __ |b 百万庄15502300183

• 100 __ |a 20190701d2020 em y0chiy50 ea

• 102 __ |a CN |b 110000

• 200 __ |a 压电微机电谐振器 |f (美) 哈梅特·布格拉, (美) 吉安卢卡·皮亚扎主编

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020

• 215 __ |a 351页 |d 24cm

• 225 __ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 330 __ |a 本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。本书共16章，包含4部分内容：第I部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料；第II部分介绍了相关谐振器的种类和特色；第III部分介绍了压电谐振器的较为先进的设计理念以及建模、测试和评估方法；第IV部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题，给出了相关案例。

• 333 __ |a 从事压电MEMS谐振器研究的工程师和科研人员及相关专业师生

• 690 __ |a TN629.1 |v 5

• 701 __ |4 著 |a 布格拉

• 702 __ |a 吴涛

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20210928

• 905 __ |a WFKJXY |d TN629.1/1

• 920 __ |a 4370400 |z 1