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• 010 __ |a 978-7-5763-4727-2 |d CNY68.00

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• 200 1_ |a 微纳加工技术与应用案例 |A wei na jia gong ji shu yu ying yong an li |d = Micro-nanofabrication technologies and application cases |f 谢会开, 许冰, 尹红星主编 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 北京理工大学出版社 |d 2025

• 215 __ |a 256页, [5] 页图版 |c 图 (部分彩图) |d 26cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书内容覆盖了微纳加工工艺原理与操作、表征与测试方法以及应用创新案例。本书第一篇是微纳加工技术与应用综述 ; 第二篇介绍微纳加工关键工艺 ; 第三篇是微纳技术创新案例, 详细介绍了集成电路、光电、机械、材料等学科领域的十一个基于微纳加工技术的前沿课题。

• 510 1_ |a Micro-nanofabrication technologies and application cases |z eng

• 606 0_ |a 特种加工 |A te zhong jia gong |x 技术

• 690 __ |a TG66 |v 5

• 701 _0 |a 谢会开 |A xie hui kai |4 主编

• 701 _0 |a 许冰 |A xu bing |4 主编

• 701 _0 |a 尹红星 |A yin hong xing |4 主编

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20250819

• 905 __ |a WFKJXY |d TG66/9