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• 099 __ |a CAL 012019061193

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 基于MEMS技术的热梯度器件研究 |A Ji Yu Mems Ji Shu De Re Ti Du Qi Jian Yan Jiu |f 聂金泉著

• 210 __ |a 北京 |c 中国水利水电出版社 |d 2019

• 215 __ |a 192页 |c 图 |d 24cm

• 312 __ |a 英文并列题名取自封面

• 320 __ |a 有书目 (第177-192页)

• 330 __ |a 本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度器件，设计了一种新型梯度加热器，通过理论分析和数值模拟对器件的温度性能进行优化，并完成温度性能测试。

• 510 1_ |a Research on thermal gradient devices based on MEMS technology |z eng

• 606 0_ |a 微机电系统 |A Wei Ji Dian Xi Tong |x 工艺过程设计 |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 聂金泉 |A Nie Jin Quan |4 著

• 801 __ |a CN |b WFKJXY |2 019-10-14

• 905 __ |a WFKJXY |d TH-39/31

• 906 __ |a 1646292 |b TH-39/31 |c 00014 |d 59.00 |a 1646293 |b TH-39/31 |c 00014 |d 59.00

• 920 __ |a 4370400 |z 1