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• 010 __ |a 978-7-111-64958-8 |d CNY139.00

• 100 __ |a 20200713d2020 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统(MEMS) |A wei ji dian xi tong( mems) |e 元器件、电路及系统集成技术和应用 |f (美)维卡斯·乔杜里,(加)克日会托夫·印纽斯基主编 |g 周海宪,程云芳,周华伟等译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020

• 215 __ |a XXIII,383页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 312 __ |a 书名原文取自版权页:Mems

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共19章,分为两大部分:第1~9章为突破性技术部分,讨论各类新型微机电系统(MEMS)器件;第10-19章属应用部分,详细阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。本书各章都具有完整性,既可以单独阅读,也可与其他章节连贯阅读。 本书可供智能系统、军事、航空航天、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域从事相关MEMS传感器、芯片及系统应用工作的工程师和设计师阅读,也可用作大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 510 1_ |a Mems |z eng

• 517 1_ |a 元器件、电路及系统集成技术和应用 |A yuan qi jian、 dian lu ji xi tong ji cheng ji shu he ying yong

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _1 |c (美) |a 乔杜里 |A qiao du li |c (Choudhary, Vikas) |4 主编

• 701 _1 |c (加) |a 印纽斯基 |A yin niu si ji |c (Iniewski, Krzysztof) |4 主编

• 702 _0 |a 周海宪 |A zhou hai xian |4 译

• 702 _0 |a 程云芳 |A cheng yun fang |4 译

• 702 _0 |a 周华伟 |A zhou hua wei |4 译

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20200920

• 905 __ |a WFKJXY |d TH-39/34

• 920 __ |a 4370400 |z 1