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• 010 __ |a 978-7-122-42346-7 |b 精装 |d CNY128.00

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• 200 1_ |a 新型微纳传感器技术 |A xin xing wei na chuan gan qi ji shu |d Micro and nano sensor technology |f 赵玉龙，蒋庄德著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2022

• 215 __ |a 244页 |c 图，照片 |d 26cm

• 330 __ |a 本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用，主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。

• 510 1_ |a Micro and nano sensor technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |x 传感器 |x 研究生

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 赵玉龙 |A zhao yu long |4 著

• 701 _0 |a 蒋庄德 |A jiang zhuang de |4 著

• 801 _0 |a CN |b 91MARC |c 20230326

• 905 __ |a WFKJXY |d TP212/97

• 920 __ |a 4370400 |z 1