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- 010 __ |a 978-7-121-49567-0 |d CNY49.80
- 100 __ |a 20250509d2025 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 等离子体与功能电介质 |A deng li zi ti yu gong neng dian jie zhi |e 原理、技术与工程应用 |f 张嘉伟, 张建威主编
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2025
- 215 __ |a 173页 |c 图 |d 26cm
- 330 __ |a 本书共7章。第1章为绪论,对等离子体和功能电介质进行了介绍;第2章为功能电介质的等离子体改性,介绍了等离子体技术与功能电介质在特高压输电中的应用;第3章为功能电介质极化及老化,分析了功能电介质的极化和老化现象;第4章为功能电介质及传感技术,介绍了传感器的基本原理及应用;第5章为等离子体仿真技术,介绍了现有的等离子体数值模型;第6章和第7章分别为半导体中的等离子体刻蚀和等离子体放电催化,展示了等离子体与功能电介质在半导体及催化领域的应用。
- 606 0_ |a 等离子体 |A deng li zi ti
- 606 0_ |a 电介质 |A dian jie zhi
- 701 _0 |a 张嘉伟 |A zhang jia wei |4 主编
- 701 _0 |a 张建威 |A zhang jian wei |4 主编
- 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20250830
- 905 __ |a WFKJXY |d O53/15