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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微电子工艺实验教程 |b 专著 |f 王珏主编 |A wei dian zi gong yi shi yan jiao cheng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2025

• 215 __ |a 161页 |c 彩图 |d 26cm

• 330 __ |a 集成电路科学与工程系列教材

• 330 __ |a 本书设计了12个实验，包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。每个实验均配有详细的操作指导，还安排了启发性思考题和拓展实验内容。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 实验 |j 教材

• 690 __ |a TN4-33 |v 5

• 701 _0 |a 王珏 |4 主编 |A wang jue

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20260311

• 905 __ |a WFKJXY |d TN4-33/1