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• 001 0000508861

• 010 __ |a 978-7-121-28022-1 |d CNY128.00

• 100 __ |a 20180122d2018 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 等离子体放电与材料工艺原理 |A deng li zi ti fang dian yu cai liao gong yi yuan li |d = Principles of plasma discharges and materials processing |f (美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 |g 蒲以康等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2018

• 215 __ |a XXVIII, 536页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 经典译丛 |A jing dian yi cong |i 微电子学

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 306 __ |a 由John Wiley & Sons公司授权出版

• 314 __ |a Lieberman规范汉译姓: 力伯曼 Lichtenberg规范汉译姓: 里登伯格

• 320 __ |a 有书目 (第520-531页)

• 330 __ |a 全书共18章, 内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体, 以及气体放电的动理论等。

• 410 _0 |1 2001 |a 经典译丛 |i 微电子学

• 500 10 |a Principles of plasma discharges and materials processing |m Chinese

• 606 0_ |a 等离子体 |A deng li zi ti |x 放电

• 690 __ |a O53 |v 5

• 690 __ |a O461 |v 5

• 701 _1 |a 力伯曼 |A li bo man |g (Lieberman, Michael A.) |4 著

• 701 _1 |a 里登伯格 |A li deng bo ge |g (Lichtenberg, Allan J.) |4 著

• 702 _0 |a 蒲以康 |A pu yi kang |4 译

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20211011

• 905 __ |a WFKJXY |d O53/3

• 920 __ |a 4370400 |z 1