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• 010 __ |a 978-7-305-28496-0 |d CNY68.00

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• 105 __ |a af z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 聚焦离子束 |A ju jiao li zi shu |e 失效分析 |f 邓昱 ... [等] 著

• 210 __ |a 南京 |c 南京大学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 250页, 12页图版 |c 图 (部分彩图) |d 23cm

• 304 __ |a 题名页题其余责任者: 陈振, 汪林俊, 王英, 邹永纯

• 314 __ |a 邓昱, 南京大学亚原子电镜中心主任, 博士生导师, 江苏省电镜学会副理事长, 江苏省第三代半导体器件性能测试与材料分析工程研究中心副主任。

• 330 __ |a 本书力求从简要、易懂、可操作性强的编写角度出发, 概述聚焦离子束在各类失效分析中的应用原理、方法及重要性, 并从实际工作角度出发, 举例说明聚焦离子束在失效分析中的具体应用及注意要点 ; 同时给出了聚焦离子束原位分析方法、应用及过程, 介绍了聚焦离子束的最新自动化操作方向的发展及实际案例。

• 517 1_ |a 失效分析 |A shi xiao fen xi

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |A ji cheng dian lu gong yi |x 离子束加工

• 690 __ |a TN405.98 |v 5

• 701 _0 |a 邓昱 |A deng yu |4 著

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20250819

• 905 __ |a WFKJXY |d TN405.98/4