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• 200 1_ |a 飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究 |A fei miao ji guang gong zhen xi shou wei na zhi zao ji li yu shi yan yan jiu |f 赵新宇著

• 210 __ |a 长沙 |c 湖南科学技术出版社 |d 2022

• 215 __ |a 157页 |c 图 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目 (第147-157页)

• 330 __ |a 飞秒激光微纳制造作为一种新兴的高精密加工技术已经成为当前微小尺寸高精度制造的研究热点, 应用于越来越多的工程领域。但是人们仍不十分清楚飞秒激光与材料相互作用机理, 这制约飞秒激光的应用。本研究主要针对一种基于入射激光光子能量与被加工靶材电子跃迁能级差相等或相近时能够有效提高飞秒激光精密加工效率的共振吸收效应制造方法, 进行了机理上的电子动力学仿真和烧蚀效率实验, 以阐明共振吸收制造的微观机理, 同时探究该方法在实际工程应用中的影响因素和加工规律。

• 333 __ |a 对从事飞秒激光微纳制造研究具有指导意义。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 纳米技术 |x 应用 |x 飞秒激光 |x 激光加工 |x 研究

• 690 __ |a TG665 |v 5

• 701 _0 |a 赵新宇 |A zhao xin yu |4 著

• 801 _0 |a CN |b 北京京城新安 |c 20220813

• 905 __ |a WFKJXY |d TG665/4

• 920 __ |a 4370400 |z 1