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• 010 __ |a 9787030820488 |d 160

• 100 __ |a 20260417d2026 ekmy0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 200 0_ |a 原子层沉积技术 |f 李爱东[等]编著

• 210 __ |c 科学出版社 |d 2025 |a 北京

• 215 __ |a 14,636页 |a 24cm

• 225 2_ |a 南京大学材料科学与工程系列丛书

• 330 __ |a 本书共分为十七章。包括原子层沉积的发展历史、原理、设备、生长材料及其前驱体和理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积等特色技术，涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化、含能材料、生物医学、封装、防腐、分离膜等领域的应用，还特别介绍了正在快速发展中的原子层刻蚀技术。

• 333 __ |a 材料科学研究生、科研人员

• 606 0_ |a 原子 |x 沉积 |x 沉积

• 690 __ |a TB3