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• 010 __ |a 978-7-118-13403-2 |b 精装 |d CNY148.00

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• 200 1_ |a 气体与湿度传感器MEMS技术及应用 |A qi ti yu shi du chuan gan qi MEMSji shu ji ying yong |d = Gas/humidity sensors and MEMS technology applications |f 汪飞, 刘欢等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2024

• 215 __ |a XIV, 398页 |c 彩图 |d 25cm

• 225 2_ |a 传感器与MEMS技术丛书 |A chuan gan qi yu MEMSji shu cong shu

• 300 __ |a 国家出版基金项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书重点讲述气体和湿度传感器设计制作的基本原理、方法及其应用，从气体和湿度传感器的器件结构、材料、制作工艺等方面展开，分析介绍了典型传感器件和材料的表征技术与主要性能参数，并结合国内外前沿研究动态提出本领域的发展趋势。

• 410 _0 |1 2001 |a 传感器与MEMS技术丛书

• 510 1_ |a Gas/humidity sensors and MEMS technology applications |z eng

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |x 应用 |x 传感器

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 汪飞 |A wang fei |4 著

• 701 _0 |a 刘欢 |A liu huan |4 著

• 801 _0 |a CN |b WFKJXY |c 20250826

• 905 __ |a WFKJXY |d TP212/150