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中文图书1.MEMS/NEMS谐振器技术
馆藏复本：0
可借复本：0 张文明, 胡开明著
科学出版社 2023
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中文图书2.MEMS法珀腔光学声传感器 TP212.4/6
馆藏复本：3
可借复本：3 郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著
电子工业出版社 2023
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中文图书3.MEMS光纤声压传感器技术 TP212.4/3
馆藏复本：2
可借复本：2 金鹏 ... [等] 著
科学出版社 2022
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中文图书4.微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/34
馆藏复本：2
可借复本：2 (美)维卡斯·乔杜里,(加)克日会托夫·印纽斯基主编
机械工业出版社 2020
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中文图书5.MEMS传感器接口ASIC集成技术 TP212/14
馆藏复本：3
可借复本：3 刘晓为, 陈伟平著
国防工业出版社 2013.2
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