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中文图书1.芯片制造:半导体工艺与设备 TN430.5/3
馆藏复本:2
可借复本:2 陈译, 陈铖颖, 张宏怡编著
机械工业出版社 2022
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中文图书2.芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing.3版 TN430.5/1
馆藏复本:2
可借复本:2 (美)Peter Van Zant著
电子工业出版社 2020
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