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西文图书1.Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / Second edition. O539/X2=2
馆藏复本：1
可借复本：1 Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic.
CRC Press, Taylor & Francis Group, [2015]
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西文图书2.Plasma at the nanoscale / TB383/X37
馆藏复本：1
可借复本：1 edited by Huaihe Song, Tuan Anh Nguyen, Abdeltif Amrane, Aymen Amine Assadi, Ghulam Yasin.
Elsevier, [2022]
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