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中文图书1.集成电路制造设备零部件归类指南 TN405-62/1
馆藏复本:3
可借复本:3 温朝柱, 史芳婷, 蒋耘弈编著
中国海关出版社有限公司 2023
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中文图书2.集成电路工艺实验基础 TN405-33/1
馆藏复本:2
可借复本:2 石建军, 郭颖主编
东华大学出版社 2023
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中文图书3.先进计算光刻 TN405.98/3
馆藏复本:2
可借复本:2 李艳秋 ... [等] 著
科学出版社 2024
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中文图书4.图说集成电路制造工艺 TN405/11
馆藏复本:2
可借复本:2 孙洪文编著
化学工业出版社 2023
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中文图书5.集成电路材料科学与工程基础 TN4/17
馆藏复本:3
可借复本:3 孙松, 张忠洁编著
科学出版社 2022
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中文图书6.半导体集成电路制造手册.第2版 TN430/1
馆藏复本:1
可借复本:1 (美) 耿怀渝主编
电子工业出版社 2022
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中文图书7.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.第2版 TN405/8
馆藏复本:3
可借复本:3 张海洋等编著
清华大学出版社 2023
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中文图书8.三维集成电路制造技术 TN405/7
馆藏复本:3
可借复本:3 主编王文武
电子工业出版社 2022
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中文图书9.3D IC集成和封装.影印版
馆藏复本:0
可借复本:0 (美) 刘汉诚著
清华大学出版社 2022.04
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中文图书10.计算光刻与版图优化 TN405.98/1
馆藏复本:3
可借复本:3 韦亚一 ... [等] 著
电子工业出版社 2021
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中文图书11.集成电路制造技术 TN405/4
馆藏复本:2
可借复本:2 杜中一著
化学工业出版社 2016
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中文图书12.纳米集成电路制造工艺.第2版 TN405/5
馆藏复本:2
可借复本:2 张汝京等编著
清华大学出版社 2017
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