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中文图书1.微机电系统工程基础
馆藏复本:0
可借复本:0 蒋永刚主编
北京航空航天大学出版社 2023
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中文图书2.MEMS/NEMS谐振器技术
馆藏复本:0
可借复本:0 张文明, 胡开明著
科学出版社 2023
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中文图书3.硅基MEMS制造技术 TH-39/61
馆藏复本:3
可借复本:3 王跃林, 吴国强等编著
电子工业出版社 2022
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中文图书4.微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/34
馆藏复本:2
可借复本:2 (美)维卡斯·乔杜里,(加)克日会托夫·印纽斯基主编
机械工业出版社 2020
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中文图书5.基于MEMS技术的热梯度器件研究 TH-39/31
馆藏复本:2
可借复本:2 聂金泉著
中国水利水电出版社 2019
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