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中文图书1.聚焦离子束:失效分析 TN405.98/4
馆藏复本：3
可借复本：3 邓昱 ... [等] 著
南京大学出版社 2024
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中文图书2.先进计算光刻 TN405.98/3
馆藏复本：2
可借复本：2 李艳秋 ... [等] 著
科学出版社 2024
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中文图书3.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.第2版 TN405/8
馆藏复本：3
可借复本：3 张海洋等编著
清华大学出版社 2023
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中文图书4.折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用 TN405.98/2
馆藏复本：1
可借复本：1 张新宇, 谢长生著
国防工业出版社 2021
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中文图书5.计算光刻与版图优化 TN405.98/1
馆藏复本：3
可借复本：3 韦亚一 ... [等] 著
电子工业出版社 2021
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