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中文图书1.半导体干法刻蚀技术 TN305.7/2
馆藏复本:3
可借复本:3 (日) 野尻一男著
机械工业出版社 2024
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中文图书2.半导体先进光刻理论与技术:a modeling perspective
馆藏复本:0
可借复本:0 (德) 安德里亚斯·爱德曼著
化学工业出版社 2023
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中文图书3.半导体干法刻蚀技术:原子层工艺 TN305.7/1
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) 索斯藤·莱尔著
机械工业出版社 2023
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中文图书4.等离子体刻蚀工艺及设备 TN305/4
馆藏复本:2
可借复本:2 主编赵晋荣
电子工业出版社 2023
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