MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 原子层沉积技术/李爱东[等]编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2025
- ISBN及定价:
- 9787030820488/160
- 载体形态项:
- 14,636页 24cm
- 丛编项:
- 南京大学材料科学与工程系列丛书
- 学科主题:
- 原子-沉积-沉积
- 中图法分类号:
- TB3
- 提要文摘附注:
- 本书共分为十七章。包括原子层沉积的发展历史、原理、设备、生长材料及其前驱体和理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积等特色技术，涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化、含能材料、生物医学、封装、防腐、分离膜等领域的应用，还特别介绍了正在快速发展中的原子层刻蚀技术。
- 使用对象附注:
- 材料科学研究生、科研人员
全部MARC细节信息>>