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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：5

题名/责任者:
微电子工艺实验教程/王珏主编
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2025
ISBN及定价:
978-7-121-50690-1/CNY45.00
载体形态项:
161页:彩图;26cm
个人责任者:
王珏 主编
学科主题:
微电子技术-实验-教材
中图法分类号:
TN4-33
提要文摘附注:
集成电路科学与工程系列教材
提要文摘附注:
本书设计了12个实验，包括1个工艺仿真基础实验、6个单步工艺实验和5个成套工艺实验。每个实验均配有详细的操作指导，还安排了启发性思考题和拓展实验内容。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN4-33/1 Z020934   自然科学书库-四楼西北     可借 自然科学书库-四楼西北
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