MARC状态：待编 文献类型：中文期刊 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 微纳电子技术/中国电子科技集团公司第十三研究所主办
- 出版发行项:
- 石家庄:《微纳电子技术》编辑部,1964-
- ISSN及定价:
- 1671-4776 CNY12.00 (2004) CNY8.00 (2006) CNY10.00 (2008) CNY12.00 (2009)
- 统一书刊号:
- 13-1314
- 邮发代号:
- 18-60
- 载体形态项:
- ;29cm
- 起止卷期:
- 1964,no.1(1964)-
- 团体责任者:
- 中国电子科技集团公司第十三研究所 主办
- 非控制主题词:
- 纳米材料
- 中图法分类号:
- TN3
- 中图法分类号:
- TB383
- 出版周期附注:
- 月刊
- 内容附注:
- 纳米器件与技术 MEMS器件与技术 显微、测量、微细加工技术与设备
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