潍坊科技学院图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

薄膜材料科学与技术/刘仲武主编

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-122-45614-4/CNY69.00

载体形态项:

350页:图;26cm

并列正题名:

Thin film materials science and technology

个人责任者:

刘仲武 主编

学科主题:

薄膜-工程材料-高等学校

中图法分类号:

TB383

一般附注:

教育部高等学校材料类专业教学指导委员会规划 国家级一流本科专业建设成果

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书全面地介绍了薄膜材料的基本概念、薄膜制备技术、薄膜生长机理、薄膜加工技术以及薄膜分析技术。在简要地阐述薄膜材料基本特点的基础上，首先介绍了与薄膜表征和分析密切相关的真空技术和等离子体技术；详细阐述了薄膜材料的制备方法，包括薄膜制备的液相方法、薄膜物理气相沉积技术、薄膜的热氧化与化学气相沉积技术、薄膜旋涂和喷涂技术，涉及各种制备方法的基本原理、制备设备和制备工艺；分析了气相沉积薄膜材料的生长机制、薄膜的生长过程及其影响因素，介绍了薄膜的外延生长技术；随后进一步介绍了薄膜的微细加工技术，特别是薄膜刻蚀技术；最后，系统阐述了薄膜的表征和分析方法，包括薄膜的厚度控制与测量、成分表征、结构表征、原子化学键表征、表面形貌与微观组织分析以及薄膜材料性能分析。

豆瓣简介：