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题名/责任者:

半导体制造过程的批间控制和性能监控/郑英, 王妍, 凌丹著

出版发行项:

北京:科学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-03-070817-5/CNY128.00

载体形态项:

243页:图;24cm

个人责任者:

郑英 著

个人责任者:

王妍 著

个人责任者:

凌丹 著

学科主题:

半导体工艺

中图法分类号:

TN305

书目附注:

有书目 (第225-243页)

提要文摘附注:

本书基于当前半导体及类似行业制造过程中存在的问题, 介绍了多种改进的批间控制和容错控制算法, 以及在其控制下的性能评估和监控。第1章介绍半导体制造过程, 包括国内外研究现状和发展趋势。第2-4章介绍批间控制方法及各种衍生方法。第5-7章讨论机台故障对系统性能的影响, 提出多种批间容错控制算法, 采用T-S模糊模型来处理未知的随机度量时延, 并建立批次过程的补偿批间算法。第8-11章介绍批间控制器对制造过程的影响, 利用输入输出数据提出批间控制器的模型匹配因子, 得到建模质量指标。

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