潍坊科技学院图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

聚焦离子束:应用与实践/邓昱 ... [等] 著

出版发行项:

南京:南京大学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-305-27409-1/CNY68.00

载体形态项:

193页, 10页图版:图;23cm

其它题名:

应用与实践

个人责任者:

邓昱 著

个人责任者:

魏大庆 著

个人责任者:

王英 著

个人责任者:

陈振 著

学科主题:

离子束聚变装置

中图法分类号:

TL632

题名责任附注:

题名页题其余责任者: 魏大庆, 王英, 陈振

责任者附注:

邓显, 南京大学亚原子电镜中心主任、现代工程与应用科学学院博士生导师, 中国分析测试协会青年委员会副主任委员, 江苏省电镜学会副主任委员。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共分七章, 从聚焦离子束的结构原理出发, 紧密结合应用与实践, 对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述, 并配有实际案例进行进一步详解。

豆瓣简介：