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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:5

题名/责任者:
新型微纳传感器技术/赵玉龙,蒋庄德著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-122-42346-7 精装/CNY128.00
载体形态项:
244页:图,照片;26cm
并列正题名:
Micro and nano sensor technology
个人责任者:
赵玉龙
个人责任者:
蒋庄德
学科主题:
微电机-传感器-研究生
中图法分类号:
TP212
提要文摘附注:
本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构,阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用,主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。
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