MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：5
- 题名/责任者:
- 微机电系统设计及应用探究/吴倩楠著
- 出版发行项:
- 长春:吉林科学技术出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-5578-8047-7/CNY86.00
- 载体形态项:
- 177页:图;26cm
- 个人责任者:
- 吴倩楠 著
- 学科主题:
- 微电机-系统设计-应用-研究
- 中图法分类号:
- TM380.2
- 书目附注:
- 有书目 (第175-177页)
- 提要文摘附注:
- 《微机电系统设计及应用探究》一书中讲述的微机电系统涉及多学科交叉, 具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境的特点, 有着广泛的应用前景。本书结合当前微机电系统的科学研究, 对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍, 使读者对微机电系统的设计与制造有一个比较完整的了解, 为开展微机电系统的研究奠定必要的基础。
- 使用对象附注:
- 本书可供可供从事微机电系统和微系统设计、加工制造及应用技术的科技人员参考
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM380.2/1 | 2014542 |  自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 | |
| TM380.2/1 | 2014543 | 自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 | |
| TM380.2/1 | 2014544 | 自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 |
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