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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:21

题名/责任者:
真空镀膜技术与应用/陆峰编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-122-40245-5/CNY138.00
载体形态项:
335页:图;26cm
并列正题名:
Technology and application of vacuum coating
个人责任者:
陆峰 编著
学科主题:
真空技术-镀膜
中图法分类号:
TN305.8
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书共9章, 主要阐述了真空镀膜技术应用, 具体介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜, 真空溅射镀膜, 真空离子镀膜, 离子束 (辅助) 沉积, 化学气相沉积的原理、特点、装置及应用; 本书还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细的介绍。
使用对象附注:
本书适合从事真空镀膜技术、薄膜与表面工程、材料工程等领域的研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员阅读参考, 也可作为真空相关专业的本科生及研究生教材
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN305.8/1 1988142   自然科学书库-四楼西北     可借 自然科学书库-四楼西北
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