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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:6

题名/责任者:
压电微机电谐振器/(美) 哈梅特·布格拉, (美) 吉安卢卡·皮亚扎主编
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2020
ISBN及定价:
978-7-111-63763-9/CNY119.00
载体形态项:
351页;24cm
丛编项:
微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
个人责任者:
布格拉
个人次要责任者:
吴涛
中图法分类号:
TN629.1
提要文摘附注:
本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等,并针对相关器件商业化难题进行了讨论,给出了两个成功案例。本书共16章,包含4部分内容:第I部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料;第II部分介绍了相关谐振器的种类和特色;第III部分介绍了压电谐振器的较为先进的设计理念以及建模、测试和评估方法;第IV部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题,给出了相关案例。
使用对象附注:
从事压电MEMS谐振器研究的工程师和科研人员及相关专业师生
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN629.1/1 1844065   自然科学书库-四楼西北     可借 自然科学书库-四楼西北
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