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题名/责任者:

现代离子镀膜技术/王福贞, 武俊伟等编著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-111-68070-3/CNY98.00

载体形态项:

370页;24cm

中图法分类号:

TG174.442

提要文摘附注:

本书系统地介绍了各种现代离子镀膜技术的原理、特点、装备、工艺、发展历程和应用。其主要内容包括概述、真空物理和等离子体物理基础知识、真空蒸发镀膜技术、辉光放电离子镀膜技术、热弧光放电离子镀膜技术、阴极电弧离子镀膜技术、磁控溅射镀膜技术、带电粒子流在镀膜中的作用、等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体聚合技术，以及离子镀膜技术在太阳能利用、信息显示薄膜、装饰性薄膜、光学薄膜、硬质涂层、碳基薄膜、热电薄膜等领域和低温离子化学热处理中的应用。

使用对象附注:

表面工程技术人员、相关领域的科研人员，相关专业的在校师生

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