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题名/责任者:

高数值孔径投影光刻物镜的光学设计/徐安成著

出版发行项:

哈尔滨:东北林业大学出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-5674-1789-2/CNY58.00

载体形态项:

125页:图;24cm

个人责任者:

徐安成, 1974- 著

学科主题:

投影光刻物镜-光学设计

中图法分类号:

TH74

责任者附注:

徐安成, 江苏盐城人, 博士, 副教授。现就职于常州工学院。

书目附注:

有书目 (第125页)

提要文摘附注:

本书共五章。第一章介绍了研究的缘起、意义及国内外研究现状。第二章主要针对高数值孔径投影光刻物镜的光学设计及其相关内容进行讨论, 主要包括: 投影光刻物镜的像质评价与基本设计指标、光学设计初始输入条件、高数值孔径投影光刻物镜的结构形式与设计结果分析、波像差自动平衡算法。第三章主要对高数值孔径投影光刻物镜的偏振像差研究, 包括标量成像与矢量成像、偏振照明与偏振像差、琼斯光瞳奇异值分解。第四章针对高数值孔径投影光刻物镜的像质补偿策略进行研究, 包括一维公差和二维公差。第五章对高数值孔径投影光刻物镜的光学设计及其相关内容做了总结与展望。

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