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- 题名/责任者:
- 现代集成电路制造技术原理与实践/李惠军
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2009.5
- ISBN及定价:
- 978-7-121-07753-1/CNY49
- 载体形态项:
- 435页;16开
- 个人责任者:
- 李惠军 著
- 中图法分类号:
- TN405
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