MARC状态：审校 文献类型：西文图书 浏览次数：7
- 题名/责任者:
- Design for manufacturability with advanced lithography / Bei Yu, David Z. Pan.
- 出版发行项:
- Cham : Springer, 2015.
- ISBN:
- 9783319203843 (hbk.)
- 载体形态项:
- xi, 164 pages : illustrations ; 24 cm
- 个人责任者:
- Yu, Bei, author.
- 附加个人名称:
- Pan, David Z., author.
- 论题主题:
- Lithography.
- 中图法分类号:
- TN702
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN702/X1 | X001303 |  经济类书库-外文图书418
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可借 | 经济类书库-外文图书418 |
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