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题名/责任者:

气体与湿度传感器MEMS技术及应用/汪飞, 刘欢等著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-118-13403-2 精装/CNY148.00

载体形态项:

XIV, 398页:彩图;25cm

并列正题名:

Gas/humidity sensors and MEMS technology applications

丛编项:

传感器与MEMS技术丛书

个人责任者:

汪飞 著

个人责任者:

刘欢 著

学科主题:

微机电系统-应用-传感器

中图法分类号:

TP212

一般附注:

国家出版基金项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书重点讲述气体和湿度传感器设计制作的基本原理、方法及其应用，从气体和湿度传感器的器件结构、材料、制作工艺等方面展开，分析介绍了典型传感器件和材料的表征技术与主要性能参数，并结合国内外前沿研究动态提出本领域的发展趋势。

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