MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 传感器与MEMS设计制造技术/朱真等编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-118-13400-1/CNY268.00
- 载体形态项:
- xxi, 662页;25cm
- 丛编项:
- 传感器与MEMS技术丛书
- 学科主题:
- 微机电系统
- 中图法分类号:
- TP212
- 一般附注:
- 国家出版基金项目
- 提要文摘附注:
- 本书将MEMS传感器的设计制造技术分为两大部分: 第一部分为硅基MEMS设计制造技术 (第1章-第12章), 第二部分为特殊材料的MEMS设计制造技术 (第13章-第16章)。其中, 第一部分首先简介了MEMS的基本概念、所涉学科和MEMS器件的制造技术; 然后详细介绍了MEMS传感器的设计和分析方法; 在此基础上重点介绍了关键的制造工艺, 包括光刻、介质层加工、金属层加工、干法刻蚀、湿法腐蚀、掺杂、表面处理、键合、封装等工艺的技术原理和制造流程, 并展示了相应的工艺案例; 最后介绍了MEMS与IC的集成
- 使用对象附注:
- 本书可供从事与MEMS传感器相关研究工作的工程技术人员参考阅读, 也可作为电子信息、集成电路、微电子等专业方向的本科生和研究生的专业课教材与参考用书
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