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题名/责任者:

聚焦离子束:失效分析/邓昱 ... [等] 著

出版发行项:

南京:南京大学出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-305-28496-0/CNY68.00

载体形态项:

250页, 12页图版:图 (部分彩图);23cm

其它题名:

失效分析

个人责任者:

邓昱 著

学科主题:

集成电路工艺-离子束加工

中图法分类号:

TN405.98

题名责任附注:

题名页题其余责任者: 陈振, 汪林俊, 王英, 邹永纯

责任者附注:

邓昱, 南京大学亚原子电镜中心主任, 博士生导师, 江苏省电镜学会副理事长, 江苏省第三代半导体器件性能测试与材料分析工程研究中心副主任。

提要文摘附注:

本书力求从简要、易懂、可操作性强的编写角度出发, 概述聚焦离子束在各类失效分析中的应用原理、方法及重要性, 并从实际工作角度出发, 举例说明聚焦离子束在失效分析中的具体应用及注意要点 ; 同时给出了聚焦离子束原位分析方法、应用及过程, 介绍了聚焦离子束的最新自动化操作方向的发展及实际案例。

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