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题名/责任者:

微纳加工技术与应用案例/谢会开, 许冰, 尹红星主编

出版发行项:

北京:北京理工大学出版社,2025

ISBN及定价:

978-7-5763-4727-2/CNY68.00

载体形态项:

256页, [5] 页图版:图 (部分彩图);26cm

并列正题名:

Micro-nanofabrication technologies and application cases

个人责任者:

谢会开 主编

个人责任者:

许冰 主编

个人责任者:

尹红星 主编

学科主题:

特种加工-技术

中图法分类号:

TG66

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书内容覆盖了微纳加工工艺原理与操作、表征与测试方法以及应用创新案例。本书第一篇是微纳加工技术与应用综述 ; 第二篇介绍微纳加工关键工艺 ; 第三篇是微纳技术创新案例, 详细介绍了集成电路、光电、机械、材料等学科领域的十一个基于微纳加工技术的前沿课题。

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