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题名/责任者:

丁衡高院士微米纳米技术文集

出版发行项:

北京:中国宇航出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-5159-2377-2 精装/CNY98.00

载体形态项:

530页, 4页图版:图 (部分彩图);25cm

个人责任者:

丁衡高 著

学科主题:

纳米材料-加工-文集

中图法分类号:

TB383

责任者附注:

丁衡高, 院士, 惯性技术和精密机械专家, 是中国战略导弹惯性技术奠基人之一, 中国惯性技术学科发展的主要推动者, 国家微米纳米技术倡导人。1931年2月3日出生, 江苏省南京市人。

提要文摘附注:

本书综合介绍了微纳米加工技术的基础, 包括光学曝光技术, 电子束曝光技术, 聚焦离子束加工技术, X射线曝光技术, 各种刻蚀技术和微纳米尺度的复制技术。内容的编排上遵循了微纳米加工的从光刻制图到刻蚀与图形转移的基本步骤。对各种加工技术的介绍着重讲清原理, 列举基本的工艺步骤, 说明了各种工艺条件的由来, 并注意给出典型工艺参数。充分分析了各种技术的优缺点, 及在应用过程中的注意事项。

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