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题名/责任者:

微纳制造与半导体器件/主编周圣军

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-111-75922-5/CNY69.00

载体形态项:

290页:图;26cm

并列正题名:

Micro and nano manufacturing and semiconductor devices

丛编项:

新工科普通高等教育机电类系列

个人责任者:

周圣军 主编

学科主题:

半导体器件-高等学校

中图法分类号:

TN303

一般附注:

CMP BOOKS

相关题名附注:

封面题英文并列题名：Micro and nano manufacturing and semiconductor devices

书目附注:

有书目 (第290页)

提要文摘附注:

本书基于编者在微纳制造领域的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新进展，综合介绍了微纳制造技术与半导体器件工艺。全书分为三篇，共12章，包括半导体基本原理（半导体材料、能带和PN结）、微纳制造工艺（掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术）、半导体器件（器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC压阻式压力传感器、器件仿真软件）等内容，对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了详细的介绍。

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