MARC状态：订购 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 微机电系统工程基础/蒋永刚主编
- 出版发行项:
- 北京:北京航空航天大学出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-5124-4022-7/CNY39.00
- 载体形态项:
- 149页;26cm
- 学科主题:
- 微机电系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 一般附注:
- 高等学校通用教材
- 提要文摘附注:
- 本书循序渐进, 体系严密, 概括了基本传感原理和制造方法, 讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识, 描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法, 及其相关的传感器与执行器, 详细介绍了微制造中常用的体微机械加工和表面微机械加工技术, 而器件制造方法则岔入到实例研究中, 讨论了与聚合物有关的。MEMS制造技术 根据这些敏感与执行方法以及制造方法, 选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍, 包括微流控应用、用于扫描探针显微术的器件、光MEMS, 介绍了工艺集成问题和项目管理问题。
- 使用对象附注:
- 本书适合于微机电系统 (MEMS)、微电子、机械工程、仪器仪表等专业的高年级本科生作为教材, 也适合于这些领域的研究生及科技人员参考
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