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题名/责任者:

一本书读懂芯片制程设备/王超 ... [等] 编著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-111-72041-6/CNY99.00

载体形态项:

254页:图;24cm

丛编项:

集成电路科学与技术丛书

个人责任者:

王超 编著

个人责任者:

姜晶 编著

个人责任者:

牛夷 编著

学科主题:

集成电路-芯片-工业生产设备

中图法分类号:

TN43

一般附注:

机工通信

题名责任附注:

题名页题其余责任者: 姜晶, 牛夷, 王刚

责任者附注:

王超，清华大学精密仪器系教授，国家级人才称号获得者。先后在世界知名的半导体设备制造公司、半导体代工厂和国内外高等研究院所工作和学习过。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域(集成电路及专用设备)等重大需求，编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石，是各国竞相角逐的“国之重器”，也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游，贯穿于芯片制造全过程，是决定产业发展的最关键一环。本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并着重分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及设备，详细综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。

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