MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：4
- 题名/责任者:
- 图说集成电路制造工艺/孙洪文编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2023
- ISBN及定价:
- 978-7-122-43290-2/CNY99.00
- 载体形态项:
- 271页:彩图;24cm
- 其它题名:
- 集成电路制造工艺
- 个人责任者:
- 孙洪文 编著
- 学科主题:
- 集成电路工艺-图解
- 中图法分类号:
- TN405
- 一般附注:
- 全彩图解 4大类10余种芯片制程核心工艺
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书通过彩色图解的形式，结台轻松有趣的解读方式，详细介绍了集成电路芯片制造工艺的相关知识，内容包括:基础知识、行业现状、半导体材料与设备、集成电路工艺概述、氧化、沉积、外延、扩散、离子注入、硅片清洗、刻蚀、抛光、高温工艺、退火、深紫外光刻、极紫外光刻、下一代光刻技术以及未来的集成电路工艺等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN405/11 | 2249188 |  自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 | |
| TN405/11 | 2249189 | 自然科学书库-四楼西北
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可借 | 自然科学书库-四楼西北 |
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