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题名/责任者:

MEMS光纤声压传感器技术/金鹏 ... [等] 著

出版发行项:

北京:科学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-03-069327-3/CNY99.00

载体形态项:

170页:图;24cm

并列正题名:

Fiber acoutics sensors based on MEMS

个人责任者:

金鹏 著

学科主题:

光纤压力传感器

中图法分类号:

TP212.4

题名责任附注:

题名页题其余责任者: 刘彬, 钟志, 林杰, 方尔正

出版发行附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版

相关题名附注:

英文题名取自封面

书目附注:

有书目 (第157-167页) 和索引

提要文摘附注:

本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景 ; 其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理, 分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析 ; 然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装 ; 最后对传感器的性能进行详细的测试。

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