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题名/责任者:

微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/顾长志等编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-03-069254-2/CNY128.00

载体形态项:

11,404页;24cm

学科主题:

纳米材料-新技术应用

中图法分类号:

TB383

书目附注:

中国科学院大学研究生教材系列

提要文摘附注:

本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术，自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。

使用对象附注:

本书适用于高等学校物理、化学、电子、材料、生物等专业研究生和高年级本科生，从事纳米科学与技术等相关领域研究的科技工作者

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