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题名/责任者:

压电微机电谐振器/(美) 哈梅特·布格拉, (美) 吉安卢卡·皮亚扎主编

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-111-63763-9/CNY119.00

载体形态项:

351页;24cm

丛编项:

微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

个人责任者:

著 布格拉

个人次要责任者:

吴涛

中图法分类号:

TN629.1

提要文摘附注:

本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。本书共16章，包含4部分内容：第I部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料；第II部分介绍了相关谐振器的种类和特色；第III部分介绍了压电谐振器的较为先进的设计理念以及建模、测试和评估方法；第IV部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题，给出了相关案例。

使用对象附注:

从事压电MEMS谐振器研究的工程师和科研人员及相关专业师生

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